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以前稱這類潔凈室為"層流"潔凈室。單向流和層流的名稱均說明了其氣流的狀況:氣流以一個方向流動(或是垂直的或是水平的)，對于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。
靜電放電產生的電磁波可導致電子儀器和裝置的雜音和誤動作;靜電放電的發光可導致照相肢片等感光破壞; 隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。垂直平行流(層流)潔凈室≥0.25m/s。
水平平行流(層流)潔凈室≥0.35 m/s。潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。靜電問題所以在潔凈室中特別嚴重，是折疊編輯本段作用控制產品 (如硅芯片等) 所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度，壓力差的維持依靠新風量。
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