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大連無菌凈化
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大連麥芽

2020-06-30 17:23:38
大連麥芽
詳細介紹:

由于大連實驗臺柜加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹。


所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,這里要討論的氣流速度是指潔凈室內的氣流速度,在其他潔凈空間中的氣流速度在討論具體設備時再說明。這是指為增加某一指定地點(如工作點)的照度而設置的照明。


但在室內照明由一般不單獨使用局部照明。吹過水平面的氣流速度(例如側送時回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而造成再污染,這一速度一般不宜大干0.2m/s。潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應考慮到人的舒適度感。


大連實驗臺柜

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大連實驗室

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